• <optgroup id="eojen"><li id="eojen"><center id="eojen"></center></li></optgroup>

        <strong id="eojen"></strong>

          1. <optgroup id="eojen"></optgroup><span id="eojen"><sup id="eojen"></sup></span>
            1. 歡迎光臨高郵市三益機械制造有限公司 走進三益機械| 收藏本站| 產品展示| 聯系我們
              全國24小時咨詢熱線
              13276580888

              新聞中心

              Strong technical force, advanced production technology

              新聞中心

              咨詢熱線:

              13276580888

              郵件:syjx@gysyjx.com

              電話:0514-84855528

              地址:揚州市 高郵市三垛鎮工業集中區

              您所在的位置:首頁 > 新聞中心 > 公司新聞 >

              淬火爐的方案設計及分析



                快速退火爐是現代大規模集成電路生產工藝過程中的要害配備。主要用于離子注入后雜質的激活、淺結制作、成長高質量的氧化膜層和金屬硅化物合金形成等工藝。跟著集成電路工藝技能的飛速發展,展開快速退火爐體系的技能研討,對國內開發和研討具有自主知識產權的快速退火爐配備,有著十分重要的理論含義和工程應用價值。

                公司針對現代半導體器件退火工藝對快速退火爐體系的技能要求,在綜合剖析國內外各種快速退火滬體系技能基礎上,經過深入的剖析研討,規劃了體系整體技能計劃。擬定選用燈光輻射型熱源設備,上下兩排成正交的燈管組對位于其中間的半導體硅片進行直接加熱完結溫度的快速上升,以單點測溫作為溫度丈量的解決計劃作為體系整體計劃.根據熱傳導基本理論,以完結體系整體技能指標作為己知參數計算得到體系所需求的熱功率,在此基礎上完結熱源與反應腔體、冷卻體系、送氣體系等部件的規劃。經過剖析影響硅片表面溫度邊緣效應的要素,提出燈管分區及分區操控的規劃計劃,完結硅片表面溫度的均勻性;經過非接觸式溫度丈量原理的剖析,完結光學高溫計選型、測溫計劃以及溫度校準規劃,完結溫度的精確丈量,根據體系模型的溫度操控器規劃確保了溫度操控的精度與安穩度;在剖析硅片傳送功能性要求的基礎上,完結傳送體系流程規劃,完結了體系傳片效率與傳片的高可靠性;操控體系功能性規劃、整體架構以及主操控程序流程圖規劃完結整機的全自動化,確保體系具有自動化水平高、操控和辦理功能強大、操作簡潔、可靠性高等特點,能很好地適應快速退火爐體系對自動操控的要求。

                以上內容來自鋼管退火爐廠家三益機械,轉載請注明。


              国产av无码专区亚洲a√
            2. <optgroup id="eojen"><li id="eojen"><center id="eojen"></center></li></optgroup>

                  <strong id="eojen"></strong>

                    1. <optgroup id="eojen"></optgroup><span id="eojen"><sup id="eojen"></sup></span>